半導体製造は現在、清浄度の要件が最も厳しい産業分野の 1 つです。まず、チップ上の線幅がナノメートルレベルまで微細化されているため、微小な粒子があれば回路の短絡や断線を引き起こす可能性があり、半導体業界では超クリーンな生産環境と製品が必要となります。
半導体工場では、さまざまな高純度の化学物質やガスをパイプラインを通じて処理装置に輸送する必要があります。{0}これらの流体には、超純水、エッチング液、現像液、高-純度の酸-、特殊ガスなどがあります。
ステンレス鋼 EP パイプは、超クリーンプロセスにより、パイプライン輸送中にこれらの流体の初期の高純度を保証します。
EP 管がこのタスクを実行できる理由は、その 3 つの主要な特性によるものです。
1. 極めて平滑な内面によりパーティクルの付着・蓄積が大幅に減少します。
2. 緻密な酸化クロム不動態皮膜により、配管の耐食性が向上し、金属イオンの析出による流体の汚染を防ぎます。
3. パイプの表面には死角がなく、微生物の滞留を効果的に防止でき、洗浄と滅菌が簡単です。
